布魯克bruker輪廓儀

Dektak XTL™ 布魯克bruker臺階儀輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來(lái)Dektak ®傳奇的可重復性。Dektak XTL 具有空氣振動(dòng)隔離設計和全封閉工作站設計，具有易用的聯(lián)鎖門(mén)，是當今苛刻的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構可增強空間感知能力，其高自動(dòng)化水平可大限度地提高測試通量。

增強的軟件功能使 Dektak XTL 成為功能強大、容易使用的探針式輪廓儀。該系統利用 Vision64 軟件，通過(guò)數百種內置分析工具實(shí)現眾多的測量位點(diǎn)、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測量形狀，如曲率半徑。模式識別可大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度。集成化的軟件包將數據收集和分析與直觀(guān)的工作流程相結合。

Dektak XTL 以 50 布魯克bruker臺階儀輪廓儀多年的探針式輪廓儀的專(zhuān)業(yè)知識和生產(chǎn)設施的應用程序定制為基礎，以滿(mǎn)足當今和未來(lái)嚴格的行業(yè)路線(xiàn)圖。300 毫米高精度編碼 XY樣品臺為制造商提供了滿(mǎn)足嚴格計量研發(fā)要求的可靠工具。

Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場(chǎng)相機提供增強的空間感知。實(shí)時(shí)視頻中的點(diǎn)擊定位使操作員能夠快速將樣品移動(dòng)到正確的位置，以便快速輕松地進(jìn)行測量設置和自動(dòng)化編程。該系統的大型聯(lián)鎖門(mén)為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪(fǎng)問(wèn)。

其他硬件功能包括：

• 單拱形架構和集成振動(dòng)隔離系統

• 快速更換自對齊探針

• 高精度編碼 XY 樣品臺，實(shí)現更快的自動(dòng)數據收集

• N-Lite 低力，采用軟觸控技術(shù)，具有 1mm 測量范圍，可同時(shí)用于測量精密和高垂直范圍樣品