布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-1000

布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-1000

落 地 式 ContourX-1000 白 光 干 涉（WLI） 系 統 集 成 了Bruker 在 硬 件 和 軟 件 上 的  新 技 術(shù)， 可 用 于 全 自 動(dòng) 三維表面紋理和粗糙度測量。
全新的一鍵式高級尋找表面（Advanced Find Surface ）功能結合自動(dòng)聚焦和自動(dòng)照明功能，無(wú)需每次測量前手動(dòng)查找樣品表面，極大提升了用戶(hù)體驗且縮短測量時(shí)間。結合自適應測量模式 USI 和簡(jiǎn)潔的引導式VisionXpress操作界面，ContourX-1000 在任何表面，任何操作人員，甚至多用戶(hù)高負荷的生產(chǎn)設備下都可提供不打折扣的精確測量。

特點(diǎn)：

·可傾斜 / 俯仰光學(xué)頭、雙光源和先進(jìn)的自動(dòng)化功能可提供快速、靈活的生產(chǎn)車(chē)間內測量。
·自校準激光和集成的防震臺可確保測量準確性和可靠性。
·提供的測量和分析軟件帶有簡(jiǎn)潔且有引導性的程序和模式，更大程度的方便用戶(hù)使用。

光學(xué)輪廓分析設備硬件設計

ContourX-1000 集成有 Bruker 的傾斜 / 俯仰光學(xué)頭，*的雙光源、自動(dòng)化的物鏡轉盤(pán)和樣品臺，以及可選配的晶圓卡盤(pán)。這些創(chuàng )新可為幾乎所有的在研發(fā)和生產(chǎn)中的應用提供快速且解決方案，包括有難度的表面和深溝槽結構。

強大的自動(dòng)化測量和分析

全局掃描干涉 (USI) 自適應測量模式可自動(dòng)確定測量參數，即使在幾十微米尺度內也可確保納米級分辨率。
簡(jiǎn)潔的且帶有引導性的 VisionXpress交互界面可去除操作人員經(jīng)驗水平的影響，快速得到佳測試結果。
即使在多用戶(hù)環(huán)境中，每個(gè)使用者都可通過(guò)高級查找表面功能，自動(dòng)聚焦功能和自動(dòng)照明調整功能獲取高 質(zhì) 量 的 結 果。 使 用 全 套 兼 容 的軟件包，從SureVison和多區域分析 到 Vision64 Map  和 膜 測 量，ContourX-1000 都 可 提 供  的測量來(lái)滿(mǎn)足您特定的應用需求。

測量準確性與魯棒性的基準

除 擁 有 Bruker  干 涉 技 術(shù) 測 量 和 成 像 能 力 之 外，ContourX-1000 還 配 備 了 專(zhuān) 屬 的 內部參考激光和防震臺以獲取大的穩定性和與其他工具的匹配能力。
即使在嘈雜的環(huán)境中，該系統也能確保測量性能。

布魯克三維光學(xué)輪廓儀ContourX-1000